Seragam Ketebalan Halus 3C Komponen Elektronik Vacuum PVD Magnetron Sputtering Coating Equipment

Prinsip Kerja: Deposisi sputter adalah metode deposisi uap fisik (PVD) dari deposisi film tipis dengan sputtering. Ini melibatkan mengeluarkan material dari "target" yang merupakan sumber ke "substrat" ​​seperti wafer silikon. Resputtering adalah emisi ulang dari bahan yang disimpan selama proses deposisi oleh pemboman ion atau atom. Atom tergagap yang dikeluarkan dari target memiliki distribusi energi yang luas, biasanya hingga puluhan eV (100.000 K). Ion-ion tergagap (biasanya hanya sebagian kecil dari partikel yang dikeluarkan terionisasi - pada urutan 1 persen) dapat terbang secara balistik dari target dalam garis lurus dan berdampak kuat pada substrat atau ruang vakum (menyebabkan resputtering). Atau, pada tekanan gas yang lebih tinggi, ion bertabrakan dengan atom gas yang bertindak sebagai moderator dan bergerak secara difusi, mencapai substrat atau dinding ruang vakum dan kondensasi setelah menjalani jalan acak. Seluruh rentang dari dampak balistik berenergi tinggi hingga gerakan termalisasi berenergi rendah dapat diakses dengan mengubah tekanan gas latar belakang. Gas sputtering sering berupa gas inert seperti argon. Untuk transfer momentum yang efisien, berat atom dari gas sputtering harus dekat dengan berat atom target, jadi untuk elemen cahaya sputtering neon lebih disukai, sedangkan untuk elemen berat krypton atau xenon digunakan. Gas reaktif juga dapat digunakan untuk mengotori senyawa. Senyawa dapat dibentuk pada permukaan target, dalam penerbangan atau pada substrat tergantung pada parameter proses. Ketersediaan banyak parameter yang mengontrol deposisi sputter membuatnya menjadi proses yang kompleks, tetapi juga memungkinkan para ahli kontrol tingkat besar atas pertumbuhan dan struktur mikro film.

Fitur: mudah untuk mengontrol ketebalan dan warna film, partikel film halus dan halus

Aplikasi: produk 3C, arloji, perhiasan, dll.

Proses hijau: tidak ada gas berbahaya, tidak ada air limbah, tidak ada bahan limbah.